清潔臭氧發生器✘·│▩、臭氧超純水發生器✘·│▩、高濃度臭氧發生器✘·│▩、臭氧水高效清洗裝置；卓康牌臭氧發生器採用平板式放電模組▩▩₪│，透過微間隙放電將氧氣轉化為臭氧◕✘☁₪。放電單元由高純度陶瓷組成▩▩₪│，放電過程中無金屬離子析出◕✘☁₪。臭氧濃度超過320g / ㎥（N）▩▩₪│，在市場上處於較高水平◕✘☁₪。它已被許多客戶在半導體▩▩₪│，FDP和其他電子器件材料製造工藝的幹法和溼法工藝中高度重視◕✘☁₪。

我司核心放電裝置可按照客戶要求進行多種組合▩▩₪│，實現不同的臭氧氣體濃度◕✘☁₪。

臭氧清洗可應用於多種行業▩▩₪│，不同行業有不同的濃度需求▩▩₪│，在光伏行業主要有如下應用₪·☁：

目前主要應用於制絨工序中替代雙氧水✘·│▩、制絨後清洗✘·│▩、鍍膜前清洗✘·│▩、替代RCA 清洗✘·│▩、BOE 清洗✘·│▩、黑矽表面清洗✘·│▩、高質量氧化膜生長等;